مبادئ المحرك-الحركة الدائرية وفرق الضغط
محرك المحرك: عادة ما يتم تشغيل مضخات التفريغ الصامتة بواسطة محرك كهربائي. يتم تحويل الحركة الدائرية للمحرك-عبر الروابط الميكانيكية-إلى حركة ترددية أو دوارة داخل مجموعة المضخة.
توليد فرق الضغط: يتم تشغيل المكونات الميكانيكية الداخلية للمضخة بواسطة المحرك (مثل المكابس، والدوارات الدوارة، والأغشية، وما إلى ذلك) لضغط وتوسيع الهواء داخل حجرة المضخة، وبالتالي خلق حالة فراغ (ضغط سلبي). تنشئ حالة الفراغ هذه فرقًا في الضغط بالنسبة إلى الضغط الجوي الخارجي.
كمية الغاز والعادم
مدخل الغاز: مدفوعًا بفارق الضغط، يتم سحب الغاز الخارجي إلى غرفة المضخة من خلال منفذ السحب. في حالة مضخات التفريغ الصامتة، قد يتم تجهيز منفذ السحب بجهاز ترشيح لإزالة الشوائب من الغاز الوارد مع تخفيف توليد الضوضاء في نفس الوقت.
ضغط الغاز والعادم: يتم ضغط الغاز المسحوب إلى غرفة المضخة بواسطة المكونات الميكانيكية الداخلية ويتم طرده بعد ذلك من خلال منفذ العادم. أثناء عملية العادم، قد يتم أيضًا تنفيذ-تدابير تقليل الضوضاء-مثل استخدام كاتم الصوت-لتقليل مستويات الضوضاء بشكل أكبر.
تصميم متخصص للتشغيل الصامت
تصميم خالٍ من الزيت-: تتميز العديد من مضخات التفريغ الصامتة بتصميم خالٍ من الزيت-، مما يعني عدم استخدام أي زيت تشحيم أو سائل مانع للتسرب داخل حجرة المضخة. لا يمنع هذا التصميم تلوث غاز المعالجة بمواد التشحيم فحسب، بل يزيل أيضًا الضوضاء المرتبطة عادةً بتدفق سوائل التشحيم.
اختيار المواد: عادةً ما يتم تصنيع المكونات الداخلية المهمة للمضخة (مثل الريش الدوارة والمكابس وما إلى ذلك) من مواد منخفضة الضوضاء- لتقليل الضوضاء الناتجة عن الاحتكاك والاهتزاز.
التحسين الهيكلي: تم تحسين الهيكل الداخلي للمضخة لتقليل الاضطراب والتيارات الدوامة أثناء تدفق الغاز عبر النظام، وبالتالي تقليل توليد الضوضاء بشكل فعال.